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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機
產(chǎn)品概述:
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點:
l 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
l 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
l 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
l 設(shè)有12組程序,每組包含6個運行階段。
l 電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
l 50W/24V 直流電機
l 適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)
參數(shù):
l 電機功率:50W/24V
l 速度范圍:500-10000rpm
l 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
l 增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
l 時間范圍:0-60s
l 吸盤:Φ19mm、Φ60mm
進(jìn)氣口:上蓋有一個直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體,實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分:上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,*高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格:
l 尺寸:450mm×280mm×340mm;
l 重量:20kg